Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Физический факультет
  3. НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
  4. Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
  5. Материалы и структуры современной электроники
  6. 2018. Материалы и структуры современной электроники
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/215270
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorЮхневич, А. В.
dc.contributor.authorМайер, И. А.
dc.contributor.authorУсенко, А. Е.
dc.date.accessioned2019-02-21T13:28:25Z-
dc.date.available2019-02-21T13:28:25Z-
dc.date.issued2018
dc.identifier.citationМатериалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 351-354.
dc.identifier.isbn978-985-566-671-5
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/215270-
dc.descriptionНанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах
dc.description.abstractПредставлен новый вариант компьютерной модели растворения кристаллов типа алмаза. Модель позволяет анализировать процесс формирования атомно-гладких поверхностей на деталях приборов, которые изготавливаются методом маскированного растворения кристалла. Модель предназначена для использования в ходе разработки технологий производства предельно миниатюрных приборов различного назначения.
dc.language.isoru
dc.publisherМинск : БГУ
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleФормирование атомно-гладких поверхностей
dc.title.alternativeThe forming of atomic-smooth surfaces / A. V. Yukhnevich, I. A. Mayer, A. E. Usenka
dc.typeconference paper
dc.description.alternativeA new version of the computer model for the dissolution of crystals of diamond type is presented. The model makes it possible to analyze the process of formation of atomically smooth surfaces on the details of devices that are manufactured by masked dissolution of a crystal. The model is intended for use in the development of production technologies for extremely miniature devices used for various purposes.
Располагается в коллекциях:2018. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
351-354.pdf379,7 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.