Формирование скрытых изолирующих слоёв в кремнии при субстехиометрической имплантации ионов азота

Abstract

В данной работе методами Монте-Карло и моментов распределения проведены теоретические расчеты профилей распределения упруго выделенной энергии при имплантации ионов азота в кремний. Их анализ с использованием энергетического критерия аморфизации и сравнение с экспериментальными данными позволяют заключить, что для корректного определения дозы ионов азота, при которой формируется скрытый изолирующий слой нитрида кремния, необходимо учитывать процессы, связанные с генерацией в процессе ,имплантации ионов азота точечных дефектов и их последующей рекомбинацией и/или аннигиляцией на стоках, в качестве которых могут выступать различные дефекты структуры.