Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/205822| Заглавие документа: | Радиационное изменение электрофизических и спектроскопических характеристик структур SiO2/Si |
| Другое заглавие: | Radiation variation electrophysical and spectroscopic characteristics of the SiO2/Si structures / P.V.Kuchinskii, G.A.Lisovskii |
| Авторы: | Кучинский, П. В. Лисовский, Г. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2001 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 355-357. |
| Аннотация: | Спектры ИК поглощения сухих и пирогенных термических пленок SiO2, выращенных по стандартной промышленной технологии, демонстрируют различия в структуре ближнего порядка, что сказывается на их электрофизических свойствах. Установлено, что основные различия, определяющие электрофизические характеристики и локальную структуру пленок, формируются на технологической стадии их изготовления через процессы вязкоупругой релаксации механических напряжений в двуслойной системе SiO2/Si. Гамма-облучение вызывает лишь перезарядку изначально существующих ловушек в подзатворных окислах МОП структур. Сделан вывод о возможности использования ИК колебательной спектроскопии для адекватной оценки качества выращенных термических пленок SiO2 в технологии микроэлектроники без дополнительных затрат на изготовление SiO2 тестовых МОП структур. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/205822 |
| ISBN: | 985-445-236-0 |
| Располагается в коллекциях: | 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 355-357.pdf | 725,69 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.