Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/205822| Title: | Радиационное изменение электрофизических и спектроскопических характеристик структур SiO2/Si |
| Other Titles: | Radiation variation electrophysical and spectroscopic characteristics of the SiO2/Si structures / P.V.Kuchinskii, G.A.Lisovskii |
| Authors: | Кучинский, П. В. Лисовский, Г. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2001 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 355-357. |
| Abstract: | Спектры ИК поглощения сухих и пирогенных термических пленок SiO2, выращенных по стандартной промышленной технологии, демонстрируют различия в структуре ближнего порядка, что сказывается на их электрофизических свойствах. Установлено, что основные различия, определяющие электрофизические характеристики и локальную структуру пленок, формируются на технологической стадии их изготовления через процессы вязкоупругой релаксации механических напряжений в двуслойной системе SiO2/Si. Гамма-облучение вызывает лишь перезарядку изначально существующих ловушек в подзатворных окислах МОП структур. Сделан вывод о возможности использования ИК колебательной спектроскопии для адекватной оценки качества выращенных термических пленок SiO2 в технологии микроэлектроники без дополнительных затрат на изготовление SiO2 тестовых МОП структур. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/205822 |
| ISBN: | 985-445-236-0 |
| Appears in Collections: | 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 355-357.pdf | 725,69 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.