Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/20474| Title: | Коимплантация атомов амфотерных примесей для управления процессами диффузии бора при быстрых термообработках |
| Authors: | Макаревич, Ю. В. Комаров, Ф. Ф. Комаров, А. Ф. Миронов, А. М. Заяц, Г. М. Мискевич, С. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2012 |
| Citation: | Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - № 5. - С. 643-646. |
| Abstract: | Разработана модель диффузионных процессов, происходящих при быстром термическом отжиге в кремниевых структурах, имплантированных бором и углеродом. Эта модель учитывает кластеризацию бора, а также влияние на его диффузию углерода. Описан процесс переноса междоузельных атомов с учетом внутренних упругих напряжений. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/20474 |
| Appears in Collections: | Статьи сотрудников НИИ ПФП |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| IFI0643.pdf | 248,38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.