Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/20474
Заглавие документа: Коимплантация атомов амфотерных примесей для управления процессами диффузии бора при быстрых термообработках
Авторы: Макаревич, Ю. В.
Комаров, Ф. Ф.
Комаров, А. Ф.
Миронов, А. М.
Заяц, Г. М.
Мискевич, С. А.
Тема: физика и астрономия
Дата публикации: 2012
Библиографическое описание источника: Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - № 5. - С. 643-646.
Аннотация: Разработана модель диффузионных процессов, происходящих при быстром термическом отжиге в кремниевых структурах, имплантированных бором и углеродом. Эта модель учитывает кластеризацию бора, а также влияние на его диффузию углерода. Описан процесс переноса междоузельных атомов с учетом внутренних упругих напряжений.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/20474
Располагается в коллекциях:Статьи сотрудников НИИ ПФП

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
IFI0643.pdf248,38 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.