Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/20474Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Макаревич, Ю. В. | - |
| dc.contributor.author | Комаров, Ф. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Комаров, А. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Миронов, А. М. | - |
| dc.contributor.author | Заяц, Г. М. | - |
| dc.contributor.author | Мискевич, С. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2012-10-30T11:57:09Z | - |
| dc.date.available | 2012-10-30T11:57:09Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - № 5. - С. 643-646. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/20474 | - |
| dc.description.abstract | Разработана модель диффузионных процессов, происходящих при быстром термическом отжиге в кремниевых структурах, имплантированных бором и углеродом. Эта модель учитывает кластеризацию бора, а также влияние на его диффузию углерода. Описан процесс переноса междоузельных атомов с учетом внутренних упругих напряжений. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Коимплантация атомов амфотерных примесей для управления процессами диффузии бора при быстрых термообработках | ru |
| dc.type | Article | ru |
| Располагается в коллекциях: | Статьи сотрудников НИИ ПФП | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| IFI0643.pdf | 248,38 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.