Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/20474
Title: Коимплантация атомов амфотерных примесей для управления процессами диффузии бора при быстрых термообработках
Authors: Макаревич, Ю. В.
Комаров, Ф. Ф.
Комаров, А. Ф.
Миронов, А. М.
Заяц, Г. М.
Мискевич, С. А.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2012
Citation: Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - № 5. - С. 643-646.
Abstract: Разработана модель диффузионных процессов, происходящих при быстром термическом отжиге в кремниевых структурах, имплантированных бором и углеродом. Эта модель учитывает кластеризацию бора, а также влияние на его диффузию углерода. Описан процесс переноса междоузельных атомов с учетом внутренних упругих напряжений.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/20474
Appears in Collections:Статьи сотрудников НИИ ПФП

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
IFI0643.pdf248,38 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.