Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/203755| Title: | Формирование слоев Сх→зМу→4 методом высокодозной имплантации азота в систему Si3N4/C/Si3N4/Si |
| Other Titles: | Formation of the carbon-nitrogen sheets by high-dose nitrogen ions implantation into layered silicon nitride-carbon system / A. F. Komarov, V. V. Pilko, N. N. Nikiforenko, V. A. Emel'yanov, C. Karwat |
| Authors: | Комаров, А. Ф. Пилько, В. В. Никифоренко, Н. Н. Емельянов, В. А. Карват, Ч. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2001 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 28-30. |
| Abstract: | В данной работе проведено исследование (эксперимент, а также компьютерное моделирование) формирования слоев методом высокодозной имплантации азота в систему Si3N4/C/Si3N4/Si. Параметры легирования N": Е=100 кэВ, доза=1.96x10^® ион/см . Компьютерное моделирование проведено с помощью программы BEAM2HD [1], основанной на методе Монте-Карло, которая позволяет моделировать торможение ионов в аморфных твердых телах. Данная программа представляет возможность моделировать процесс одно- или двухпучковой высокодозной ионной имплантации в многослойные и многокомпонентные мишени. При этом число слоев не превышает трех, а число разных типов атомов в каждом слое не превышает семи. На основании данной программы проведен расчет толщины послойного распыления мишени, профиль распределения имплантированного азота в многослойной структуре, а также предложены оптимальные энергии и дозы имплантации азота для формирования слоя, близкого по стехиометрии к C3N4. |
| Abstract (in another language): | The nitrogen ion implantation parameters for the layered silicon nitride-carbon structure are simulated using the program BEAM2HD and realized in the experiment. The nitrogen depth distribution was tested by RBS. The composition of the formed sheets was near to the C/N ratio of The possibility of the carbon nitride phase formation is discussed. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/203755 |
| ISBN: | 985-445-236-0 |
| Appears in Collections: | 2001. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.