Просмотр "Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи)" Авторы Янковский, В. Н.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2020 | Радиационно-стимулированная трансформация спектров отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста при имплантации ионов сурьмы | Харченко, А. А.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Бринкевич, С. Д.; Оджаев, В. Б.; Янковский, В. Н. |