Просмотр "Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи)" Авторы Точилин, Е. В.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
мая-2023 | Физико-механические свойства пленок диазохинонноволачных фоторезистов на монокристаллическом кремнии, облученных электронами | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Ластовский, С. Б.; Точилин, Е. В. |