Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/179737| Заглавие документа: | Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем |
| Авторы: | Пилипенко, Владимир Александрович |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | июн-2017 |
| Аннотация: | Программа «Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем» разработана для специализации 1-31 04 01-01 06 Физика полупроводников и диэлектриков. Цель учебной дисциплины – дать количественные и качественные оценки процессов в современной технологии при создании субмикронных изделий микроэлектроники, в которой основным инструментом нагрева полупроводниковых структур являются быстрые термообработки (БТО). Основные задачи учебной дисциплины – дать представление о физических процессах, протекающих в полупроводниковом материале и обеспечивающих его нагрев до требуемых температур при использовании лазерного и некогерентного светового излучения секундной длительности. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/179737 |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| New_Быстрые терм-ки в технологии субмикронных ИМ.pdf | 1,74 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.