Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/179737
Заглавие документа: Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем
Авторы: Пилипенко, Владимир Александрович
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: июн-2017
Аннотация: Программа «Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем» разработана для специализации 1-31 04 01-01 06 Физика полупроводников и диэлектриков. Цель учебной дисциплины – дать количественные и качественные оценки процессов в современной технологии при создании субмикронных изделий микроэлектроники, в которой основным инструментом нагрева полупроводниковых структур являются быстрые термообработки (БТО). Основные задачи учебной дисциплины – дать представление о физических процессах, протекающих в полупроводниковом материале и обеспечивающих его нагрев до требуемых температур при использовании лазерного и некогерентного светового излучения секундной длительности.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/179737
Располагается в коллекциях:Семестр 8. Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
New_Быстрые терм-ки в технологии субмикронных ИМ.pdf1,74 MBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.