Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/179737
Title: Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем
Authors: Пилипенко, Владимир Александрович
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: Jun-2017
Abstract: Программа «Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем» разработана для специализации 1-31 04 01-01 06 Физика полупроводников и диэлектриков. Цель учебной дисциплины – дать количественные и качественные оценки процессов в современной технологии при создании субмикронных изделий микроэлектроники, в которой основным инструментом нагрева полупроводниковых структур являются быстрые термообработки (БТО). Основные задачи учебной дисциплины – дать представление о физических процессах, протекающих в полупроводниковом материале и обеспечивающих его нагрев до требуемых температур при использовании лазерного и некогерентного светового излучения секундной длительности.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/179737
Appears in Collections:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
New_Быстрые терм-ки в технологии субмикронных ИМ.pdf1,74 MBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.