Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/179737| Title: | Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем |
| Authors: | Пилипенко, Владимир Александрович |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | Jun-2017 |
| Abstract: | Программа «Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем» разработана для специализации 1-31 04 01-01 06 Физика полупроводников и диэлектриков. Цель учебной дисциплины – дать количественные и качественные оценки процессов в современной технологии при создании субмикронных изделий микроэлектроники, в которой основным инструментом нагрева полупроводниковых структур являются быстрые термообработки (БТО). Основные задачи учебной дисциплины – дать представление о физических процессах, протекающих в полупроводниковом материале и обеспечивающих его нагрев до требуемых температур при использовании лазерного и некогерентного светового излучения секундной длительности. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/179737 |
| Appears in Collections: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| New_Быстрые терм-ки в технологии субмикронных ИМ.pdf | 1,74 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.