Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/179737Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Пилипенко, Владимир Александрович | - |
| dc.date.accessioned | 2017-09-01T10:14:50Z | - |
| dc.date.available | 2017-09-01T10:14:50Z | - |
| dc.date.issued | 2017-06 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/179737 | - |
| dc.description.abstract | Программа «Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем» разработана для специализации 1-31 04 01-01 06 Физика полупроводников и диэлектриков. Цель учебной дисциплины – дать количественные и качественные оценки процессов в современной технологии при создании субмикронных изделий микроэлектроники, в которой основным инструментом нагрева полупроводниковых структур являются быстрые термообработки (БТО). Основные задачи учебной дисциплины – дать представление о физических процессах, протекающих в полупроводниковом материале и обеспечивающих его нагрев до требуемых температур при использовании лазерного и некогерентного светового излучения секундной длительности. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Быстрые термообработки в технологии субмикронных интегральных микросхем | ru |
| dc.type | syllabus | ru |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| New_Быстрые терм-ки в технологии субмикронных ИМ.pdf | 1,74 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.