Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/178716| Title: | Влияние температуры на структуру слоев SiC, сформированных при отжиге кремниевых пластин в вакууме |
| Authors: | Батулев, А. А. Лобанок, М. В. Прокопьев, С. Л. Новиков, А. Г. Мильчанин, О. В. Гайдук, П. И. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния : материалы четвертой Междунар. науч.-практ. конф., Минск, 11–12 мая 2017 г. / М-во образования Респ. Беларусь, НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А. Н. Севченко» Белорус. гос. ун-та; редкол.: В. И. Попечиц (гл. ред.), Ю. И. Дудчик, Г. А. Сенкевич. – Минск, 2017. – С. 228-230. |
| Abstract: | Исследованы структурные свойства слоев карбида кремния (SiC), сформированных путем обработки кремниевых подложек в вакууме в диапазоне температур 10001200 С в течении 10 минут. Методами электронной микроскопии и электронной дифракции обнаружено формирование слоев кубического карбида кремния в виде двухфазной системы – моно- и поликристаллической фазы. Анализ дифракционных картин показал, что с увеличением температуры обработки пластин кремния доля монокристаллического карбида кремния возрастает, как и его структурное совершенство |
| Description: | Секция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/178716 |
| Appears in Collections: | 2017. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 228-230.pdf | 494,08 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.