Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/178716
Заглавие документа: Влияние температуры на структуру слоев SiC, сформированных при отжиге кремниевых пластин в вакууме
Авторы: Батулев, А. А.
Лобанок, М. В.
Прокопьев, С. Л.
Новиков, А. Г.
Мильчанин, О. В.
Гайдук, П. И.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2017
Библиографическое описание источника: Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния : материалы четвертой Междунар. науч.-практ. конф., Минск, 11–12 мая 2017 г. / М-во образования Респ. Беларусь, НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А. Н. Севченко» Белорус. гос. ун-та; редкол.: В. И. Попечиц (гл. ред.), Ю. И. Дудчик, Г. А. Сенкевич. – Минск, 2017. – С. 228-230.
Аннотация: Исследованы структурные свойства слоев карбида кремния (SiC), сформированных путем обработки кремниевых подложек в вакууме в диапазоне температур 10001200 С в течении 10 минут. Методами электронной микроскопии и электронной дифракции обнаружено формирование слоев кубического карбида кремния в виде двухфазной системы – моно- и поликристаллической фазы. Анализ дифракционных картин показал, что с увеличением температуры обработки пластин кремния доля монокристаллического карбида кремния возрастает, как и его структурное совершенство
Доп. сведения: Секция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/178716
Располагается в коллекциях:2017. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
228-230.pdf494,08 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.