Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. НИУ "Институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко"
  3. Материалы конференций и семинаров НИИ ПФП
  4. 2017. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/178716
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorБатулев, А. А.
dc.contributor.authorЛобанок, М. В.
dc.contributor.authorПрокопьев, С. Л.
dc.contributor.authorНовиков, А. Г.
dc.contributor.authorМильчанин, О. В.
dc.contributor.authorГайдук, П. И.
dc.date.accessioned2017-08-16T11:22:07Z-
dc.date.available2017-08-16T11:22:07Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.citationПрикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния : материалы четвертой Междунар. науч.-практ. конф., Минск, 11–12 мая 2017 г. / М-во образования Респ. Беларусь, НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А. Н. Севченко» Белорус. гос. ун-та; редкол.: В. И. Попечиц (гл. ред.), Ю. И. Дудчик, Г. А. Сенкевич. – Минск, 2017. – С. 228-230.
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/178716-
dc.descriptionСекция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния
dc.description.abstractИсследованы структурные свойства слоев карбида кремния (SiC), сформированных путем обработки кремниевых подложек в вакууме в диапазоне температур 10001200 С в течении 10 минут. Методами электронной микроскопии и электронной дифракции обнаружено формирование слоев кубического карбида кремния в виде двухфазной системы – моно- и поликристаллической фазы. Анализ дифракционных картин показал, что с увеличением температуры обработки пластин кремния доля монокристаллического карбида кремния возрастает, как и его структурное совершенство
dc.language.isoru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleВлияние температуры на структуру слоев SiC, сформированных при отжиге кремниевых пластин в вакууме
dc.typeconference paper
Располагается в коллекциях:2017. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
228-230.pdf494,08 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.