Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/173709| Заглавие документа: | Особенности травления поверхности (001) монокристаллического кремния в растворах на основе гидроксида калия |
| Авторы: | Хижняк, Е. А. Юхневич, А. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2007 |
| Библиографическое описание источника: | Журнал общей химии. - 2007. - Т. 77. - Вып. 8. - С. 1233-1237. |
| Аннотация: | Изучены особенности микро- и нанорельефа поверхности (001) монокристаллического кремния, формирующегося при травлении в водных растворах гидроксида калия различных концентраций при различных температурах, в том числе - с новыми модифицирующими добавками КМп04 и KNO3. Показано, что наиболее вероятной причиной формирования основных дефектов Si(OOl) является временная локальная адсорбция на поверхности силикатов - продуктов травления кремния |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/173709 |
| ISSN: | 0044-460X |
| Располагается в коллекциях: | Статьи сотрудников НИИ ФХП |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 1233-1237.pdf | 858,62 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.