Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/173709
Title: Особенности травления поверхности (001) монокристаллического кремния в растворах на основе гидроксида калия
Authors: Хижняк, Е. А.
Юхневич, А. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2007
Citation: Журнал общей химии. - 2007. - Т. 77. - Вып. 8. - С. 1233-1237.
Abstract: Изучены особенности микро- и нанорельефа поверхности (001) монокристаллического кремния, формирующегося при травлении в водных растворах гидроксида калия различных концентраций при различных температурах, в том числе - с новыми модифицирующими добавками КМп04 и KNO3. Показано, что наиболее вероятной причиной формирования основных дефектов Si(OOl) является временная локальная адсорбция на поверхности силикатов - продуктов травления кремния
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/173709
ISSN: 0044-460X
Appears in Collections:Статьи сотрудников НИИ ФХП

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
1233-1237.pdf858,62 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.