Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/173709| Title: | Особенности травления поверхности (001) монокристаллического кремния в растворах на основе гидроксида калия |
| Authors: | Хижняк, Е. А. Юхневич, А. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2007 |
| Citation: | Журнал общей химии. - 2007. - Т. 77. - Вып. 8. - С. 1233-1237. |
| Abstract: | Изучены особенности микро- и нанорельефа поверхности (001) монокристаллического кремния, формирующегося при травлении в водных растворах гидроксида калия различных концентраций при различных температурах, в том числе - с новыми модифицирующими добавками КМп04 и KNO3. Показано, что наиболее вероятной причиной формирования основных дефектов Si(OOl) является временная локальная адсорбция на поверхности силикатов - продуктов травления кремния |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/173709 |
| ISSN: | 0044-460X |
| Appears in Collections: | Статьи сотрудников НИИ ФХП |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 1233-1237.pdf | 858,62 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.