Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/173698| Title: | Выявление микродефектов в совершенных монокристаллах кремния методом селективного растворения |
| Authors: | Усенко, А. Е. Юхневич, А. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | Москва : МИСиС |
| Citation: | Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. - 2009. - № 2. - С. 38-43. |
| Abstract: | Экспериментально изучены особенности выявления микродефектов (МД) в бездислокационных монокристаллах кремния методом дефектконтрастного селективного растворения в травителях типа HF-СгОз—НгО и HF— КгСггОт—НгО. Показана зависимость формы и размера индивидуального следа МД от вида травителя, времени травления (толщины стравленного слоя), типа микродефекта. Подобраны составы травителей, обеспечивающие эффективное формирование дефект-контрастного рельефа травленой поверхности |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/173698 |
| ISSN: | 1609-3597 |
| Appears in Collections: | Статьи сотрудников НИИ ФХП |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.