Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/173698
Title: Выявление микродефектов в совершенных монокристаллах кремния методом селективного растворения
Authors: Усенко, А. Е.
Юхневич, А. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
Issue Date: 2008
Publisher: Москва : МИСиС
Citation: Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. - 2009. - № 2. - С. 38-43.
Abstract: Экспериментально изучены особенности выявления микродефектов (МД) в бездислокационных монокристаллах кремния методом дефектконтрастного селективного растворения в травителях типа HF-СгОз—НгО и HF— КгСггОт—НгО. Показана зависимость формы и размера индивидуального следа МД от вида травителя, времени травления (толщины стравленного слоя), типа микродефекта. Подобраны составы травителей, обеспечивающие эффективное формирование дефект-контрастного рельефа травленой поверхности
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/173698
ISSN: 1609-3597
Appears in Collections:Статьи сотрудников НИИ ФХП

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
38-43.PDF972,1 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.