Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/173698| Заглавие документа: | Выявление микродефектов в совершенных монокристаллах кремния методом селективного растворения |
| Авторы: | Усенко, А. Е. Юхневич, А. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
| Дата публикации: | 2008 |
| Издатель: | Москва : МИСиС |
| Библиографическое описание источника: | Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. - 2009. - № 2. - С. 38-43. |
| Аннотация: | Экспериментально изучены особенности выявления микродефектов (МД) в бездислокационных монокристаллах кремния методом дефектконтрастного селективного растворения в травителях типа HF-СгОз—НгО и HF— КгСггОт—НгО. Показана зависимость формы и размера индивидуального следа МД от вида травителя, времени травления (толщины стравленного слоя), типа микродефекта. Подобраны составы травителей, обеспечивающие эффективное формирование дефект-контрастного рельефа травленой поверхности |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/173698 |
| ISSN: | 1609-3597 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи сотрудников НИИ ФХП |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.