Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/170225| Title: | Ионно-лучевое формирование и трековая модификация нанокластеров InAs в кремнии и диоксиде кремния |
| Authors: | Комаров, Ф. Ф. Мильчанин, О. В. Скуратов, В. А. Моховиков, М. А. van Vuuren, A. Janse Neethling, J. N. Wendler, E. Власукова, Л. А. Пархоменко, И. Н. Ювченко, В. Н. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2016 |
| Citation: | Известия РАН. Серия физическая. - 2016. - Том 80, № 2. - С. 165-169. |
| Abstract: | Проведены исследования имплантационного формирования нанокластеров InAs в кремнии и диоксиде кремния и их перестройки при облучении ионами Xe с энергией 167 МэВ флюенсом 3 · 1014 см–2. Постимплантационный отжиг и облучение высокоэнергетичными ионами вызывают изменения размеров и формы нанокластеров, а также структурные превращения в них. Обнаружено упорядочение нанокластеров и их вытягивание вдоль траектории ионов Xe в матрице SiO2 |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/170225 |
| ISSN: | 0367-6765 |
| Appears in Collections: | Статьи сотрудников НИИ ПФП |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 165-169.pdf | 1,57 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.