Tibo 2019
Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/170225
Заглавие документа: Ионно-лучевое формирование и трековая модификация нанокластеров InAs в кремнии и диоксиде кремния
Авторы: Комаров, Ф. Ф.
Мильчанин, О. В.
Скуратов, В. А.
Моховиков, М. А.
van Vuuren, A. Janse
Neethling, J. N.
Wendler, E.
Власукова, Л. А.
Пархоменко, И. Н.
Ювченко, В. Н.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание источника: Известия РАН. Серия физическая. - 2016. - Том 80, № 2. - С. 165-169.
Аннотация: Проведены исследования имплантационного формирования нанокластеров InAs в кремнии и диоксиде кремния и их перестройки при облучении ионами Xe с энергией 167 МэВ флюенсом 3 · 1014 см–2. Постимплантационный отжиг и облучение высокоэнергетичными ионами вызывают изменения размеров и формы нанокластеров, а также структурные превращения в них. Обнаружено упорядочение нанокластеров и их вытягивание вдоль траектории ионов Xe в матрице SiO2
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/170225
ISSN: 0367-6765
Располагается в коллекциях:Статьи сотрудников НИИ ПФП

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
165-169.pdf1,57 MBAdobe PDFОткрыть


PlumX

Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.