Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/170225
Заглавие документа: | Ионно-лучевое формирование и трековая модификация нанокластеров InAs в кремнии и диоксиде кремния |
Авторы: | Комаров, Ф. Ф. Мильчанин, О. В. Скуратов, В. А. Моховиков, М. А. van Vuuren, A. Janse Neethling, J. N. Wendler, E. Власукова, Л. А. Пархоменко, И. Н. Ювченко, В. Н. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2016 |
Библиографическое описание источника: | Известия РАН. Серия физическая. - 2016. - Том 80, № 2. - С. 165-169. |
Аннотация: | Проведены исследования имплантационного формирования нанокластеров InAs в кремнии и диоксиде кремния и их перестройки при облучении ионами Xe с энергией 167 МэВ флюенсом 3 · 1014 см–2. Постимплантационный отжиг и облучение высокоэнергетичными ионами вызывают изменения размеров и формы нанокластеров, а также структурные превращения в них. Обнаружено упорядочение нанокластеров и их вытягивание вдоль траектории ионов Xe в матрице SiO2 |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/170225 |
ISSN: | 0367-6765 |
Располагается в коллекциях: | Статьи сотрудников НИИ ПФП |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
165-169.pdf | 1,57 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.