Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/164188| Title: | Особенности отжига межузельных атомов углерода в кремнии р-типа |
| Authors: | Ластовский, С. Б. Якушевич, А. С. Мурин, Л. И. Маркевич, В. П. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 161–164. |
| Abstract: | Методом DLTS изучено влияние зарядового состояния межузельного углерода на кинетику его отжига в облученных электронами n+–p-структурах, изготовленных на кремнии КДБ-5 (NB = 2,5*10^15 см^–3). Показано, что в положительном зарядовом состоянии дефекта энергия активации отжига и частотный фактор равны ΔЕ = 0,88 эВ и ν = 1,24*10^11 с^–1, а в нейтральном зарядовом состоянии ΔЕ = 0,73 эВ и ν = 9,49*10^8 с^–1. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/164188 |
| ISBN: | 978-985-553-403-8 |
| Sponsorship: | Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований. |
| Appears in Collections: | 2016. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| С.161-164_Ластовский.pdf | 416,81 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.