Особенности отжига межузельных атомов углерода в кремнии р-типа

Ластовский, С. Б.; Якушевич, А. С.; Мурин, Л. И.; Маркевич, В. П.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/164188

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Ластовский, С. Б.	-
dc.contributor.author	Якушевич, А. С.	-
dc.contributor.author	Мурин, Л. И.	-
dc.contributor.author	Маркевич, В. П.	-
dc.date.accessioned	2016-12-29T15:29:08Z	-
dc.date.available	2016-12-29T15:29:08Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 161–164.	ru
dc.identifier.isbn	978-985-553-403-8	-
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/164188	-
dc.description.abstract	Методом DLTS изучено влияние зарядового состояния межузельного углерода на кинетику его отжига в облученных электронами n+–p-структурах, изготовленных на кремнии КДБ-5 (NB = 2,510^15 см^–3). Показано, что в положительном зарядовом состоянии дефекта энергия активации отжига и частотный фактор равны ΔЕ = 0,88 эВ и ν = 1,2410^11 с^–1, а в нейтральном зарядовом состоянии ΔЕ = 0,73 эВ и ν = 9,49*10^8 с^–1.	ru
dc.description.sponsorship	Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Минск : Изд. центр БГУ	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Особенности отжига межузельных атомов углерода в кремнии р-типа	ru
dc.type	conference paper	ru
Appears in Collections:	2016. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
С.161-164_Ластовский.pdf		416,81 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar