Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/164188
Title: Особенности отжига межузельных атомов углерода в кремнии р-типа
Authors: Ластовский, С. Б.
Якушевич, А. С.
Мурин, Л. И.
Маркевич, В. П.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2016
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 161–164.
Abstract: Методом DLTS изучено влияние зарядового состояния межузельного углерода на кинетику его отжига в облученных электронами n+–p-структурах, изготовленных на кремнии КДБ-5 (NB = 2,5*10^15 см^–3). Показано, что в положительном зарядовом состоянии дефекта энергия активации отжига и частотный фактор равны ΔЕ = 0,88 эВ и ν = 1,24*10^11 с^–1, а в нейтральном зарядовом состоянии ΔЕ = 0,73 эВ и ν = 9,49*10^8 с^–1.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/164188
ISBN: 978-985-553-403-8
Sponsorship: Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований.
Appears in Collections:2016. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
С.161-164_Ластовский.pdf416,81 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.