Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/163283| Title: | Морфология поверхности пленок теллурида кадмия, полученных на кремниевой подложке методом вакуумного напыления |
| Authors: | Акобирова, А. Т. Головчук, В. И. Лукашевич, М. Г. Султонов, Н. Хамрокулов, Р. Б. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 16-19. |
| Abstract: | Приводятся результаты исследования методами атомно-силовой и растровой электронной микроскопии морфологии поверхности пленок теллурида кадмия, полученных на кремниевой подложке методом напыления в квазизамкнутом объеме. Показана возможность получения поликристаллических пленок с разным размером зерна и шероховатостью, изменяющимися в интервале от 2,5–5 мкм и 34 до 87 нм соответственно. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/163283 |
| ISBN: | 978-985-553-403-8 |
| Sponsorship: | Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований. Работа выполнена в рамках договора о сотрудничестве между Белорусским государственным и Таджикским национальным университетами. |
| Appears in Collections: | 2016. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| с.16-19_Акобирова.pdf | 459,17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.