Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/163283Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Акобирова, А. Т. | - |
| dc.contributor.author | Головчук, В. И. | - |
| dc.contributor.author | Лукашевич, М. Г. | - |
| dc.contributor.author | Султонов, Н. | - |
| dc.contributor.author | Хамрокулов, Р. Б. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-12-19T16:14:22Z | - |
| dc.date.available | 2016-12-19T16:14:22Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 16-19. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-553-403-8 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/163283 | - |
| dc.description.abstract | Приводятся результаты исследования методами атомно-силовой и растровой электронной микроскопии морфологии поверхности пленок теллурида кадмия, полученных на кремниевой подложке методом напыления в квазизамкнутом объеме. Показана возможность получения поликристаллических пленок с разным размером зерна и шероховатостью, изменяющимися в интервале от 2,5–5 мкм и 34 до 87 нм соответственно. | ru |
| dc.description.sponsorship | Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований. Работа выполнена в рамках договора о сотрудничестве между Белорусским государственным и Таджикским национальным университетами. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Минск : Изд. центр БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Морфология поверхности пленок теллурида кадмия, полученных на кремниевой подложке методом вакуумного напыления | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2016. Материалы и структуры современной электроники | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| с.16-19_Акобирова.pdf | 459,17 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.