Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/163283
Title: Морфология поверхности пленок теллурида кадмия, полученных на кремниевой подложке методом вакуумного напыления
Authors: Акобирова, А. Т.
Головчук, В. И.
Лукашевич, М. Г.
Султонов, Н.
Хамрокулов, Р. Б.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2016
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 16-19.
Abstract: Приводятся результаты исследования методами атомно-силовой и растровой электронной микроскопии морфологии поверхности пленок теллурида кадмия, полученных на кремниевой подложке методом напыления в квазизамкнутом объеме. Показана возможность получения поликристаллических пленок с разным размером зерна и шероховатостью, изменяющимися в интервале от 2,5–5 мкм и 34 до 87 нм соответственно.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/163283
ISBN: 978-985-553-403-8
Sponsorship: Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований. Работа выполнена в рамках договора о сотрудничестве между Белорусским государственным и Таджикским национальным университетами.
Appears in Collections:2016. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
с.16-19_Акобирова.pdf459,17 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.