Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/163283| Заглавие документа: | Морфология поверхности пленок теллурида кадмия, полученных на кремниевой подложке методом вакуумного напыления |
| Авторы: | Акобирова, А. Т. Головчук, В. И. Лукашевич, М. Г. Султонов, Н. Хамрокулов, Р. Б. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2016 |
| Издатель: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 16-19. |
| Аннотация: | Приводятся результаты исследования методами атомно-силовой и растровой электронной микроскопии морфологии поверхности пленок теллурида кадмия, полученных на кремниевой подложке методом напыления в квазизамкнутом объеме. Показана возможность получения поликристаллических пленок с разным размером зерна и шероховатостью, изменяющимися в интервале от 2,5–5 мкм и 34 до 87 нм соответственно. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/163283 |
| ISBN: | 978-985-553-403-8 |
| Финансовая поддержка: | Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований. Работа выполнена в рамках договора о сотрудничестве между Белорусским государственным и Таджикским национальным университетами. |
| Располагается в коллекциях: | 2016. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| с.16-19_Акобирова.pdf | 459,17 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.