Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/163283
Title: | Морфология поверхности пленок теллурида кадмия, полученных на кремниевой подложке методом вакуумного напыления |
Authors: | Акобирова, А. Т. Головчук, В. И. Лукашевич, М. Г. Султонов, Н. Хамрокулов, Р. Б. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2016 |
Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
Citation: | Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 16-19. |
Abstract: | Приводятся результаты исследования методами атомно-силовой и растровой электронной микроскопии морфологии поверхности пленок теллурида кадмия, полученных на кремниевой подложке методом напыления в квазизамкнутом объеме. Показана возможность получения поликристаллических пленок с разным размером зерна и шероховатостью, изменяющимися в интервале от 2,5–5 мкм и 34 до 87 нм соответственно. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/163283 |
ISBN: | 978-985-553-403-8 |
Sponsorship: | Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований. Работа выполнена в рамках договора о сотрудничестве между Белорусским государственным и Таджикским национальным университетами. |
Appears in Collections: | 2016. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
с.16-19_Акобирова.pdf | 459,17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.