Skip navigation
Home
Вход
Language
English
русский
ISSN 2519-4437
(online)
Электронная библиотека БГУ
Физический факультет
НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
Материалы и структуры современной электроники
2016. Материалы и структуры современной электроники
Issue Date
Author
Title
Subject
Search
Search:
All of DSpace
Физический факультет
НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
Материалы и структуры современной электроники
2016. Материалы и структуры современной электроники
for
Current filters:
Title
Author
Subject
Date Issued
Type of document
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Start a new search
Add filters:
Use filters to refine the search results.
Title
Author
Subject
Date Issued
Type of document
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Results 1-2 of 2 (Search time: 0.0 seconds).
previous
1
next
Item hits:
Preview
Issue Date
Title
Author(s)
2016
Оптимизация процесса химико-механической полировки вольфрама для формирования межсоединений субмикронных ИМС
Наливайко, О. Ю.
;
Роговой, В. И.
;
Турцевич, А. С.
2016
Химическая чистота и параметры МОП-структур на кремнии
Васильев, Ю. Б.
;
Оджаев, В. Б.
;
Панфиленко, А. К.
;
Петлицкий, А. Н.
;
Садовский, П. К.
;
Тарасик, М. И.
;
Филипеня, В. А.
;
Челядинский, А. Р.
Discover
Author
1
Васильев, Ю. Б.
1
Наливайко, О. Ю.
1
Оджаев, В. Б.
1
Панфиленко, А. К.
1
Петлицкий, А. Н.
1
Роговой, В. И.
1
Садовский, П. К.
1
Тарасик, М. И.
1
Турцевич, А. С.
1
Филипеня, В. А.
.
next >
Subject
2
ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ
2
ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
2
ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. О...
Date issued
2
2016
Type
2
conference paper