Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/15893| Title: | Химическое осаждение палладия из стабилизированных растворов на диэлектрические и полупроводниковые подложки |
| Authors: | Рева, Ольга Владимировна Воробьева, Татьяна Николаевна |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
| Issue Date: | 2009 |
| Publisher: | БГУ |
| Citation: | Свиридовские чтения: сб.ст. Вып.5/отв. ред. Т.Н.Воробьева |
| Series/Report no.: | 5 |
| Abstract: | Усовершенствован процесс химического осаждения пленок палладия из: аммиачно-гипофосфитного раствора на подложки, различающиеся химической природой и морфологией поверхности — оксид алюминия, силикатное стекло, монокристаллический кремний. Впервые показана возможность получения пленок палладия толщиной 2,5—5,0 мкм на трудно металлизируемых неметаллических подложках с гладкой поверхностью. Определена важнейшая причина ослабления адгезионного взаимодействия пленок с подложкой в процессе осаждения, связанная с постепенным увеличением размеров зерен палладия в резуль тате их срастания. Найдено, что обеспечить получение мелкозернистых пленок палладия с не изменяющейся в процессе роста микроструктурой и повысить их предельную толщину можно введением в раствор добавок моноэтаноламина и сульфосалициловой кислоты. Установлено, что добавка моноэтаноламина в раствор повышает его стабильность и скорость роста пленок. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/15893 |
| Appears in Collections: | 2009. Свиридовские чтения. Выпуск 5 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| pages from svirid_chteniya[2].pdf | 1,82 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.