Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/15893
Title: Химическое осаждение палладия из стабилизированных растворов на диэлектрические и полупроводниковые подложки
Authors: Рева, Ольга Владимировна
Воробьева, Татьяна Николаевна
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
Issue Date: 2009
Publisher: БГУ
Citation: Свиридовские чтения: сб.ст. Вып.5/отв. ред. Т.Н.Воробьева
Series/Report no.: 5
Abstract: Усовершенствован процесс химического осаждения пленок палладия из: аммиачно-гипофосфитного раствора на подложки, различающиеся химической природой и морфологией поверхности — оксид алюминия, силикатное стекло, монокристаллический кремний. Впервые показана возможность получения пленок палладия толщиной 2,5—5,0 мкм на трудно металлизируемых неметаллических подложках с гладкой поверхностью. Определена важнейшая причина ослабления адгезионного взаимодействия пленок с подложкой в процессе осаждения, связанная с постепенным увеличением размеров зерен палладия в резуль тате их срастания. Найдено, что обеспечить получение мелкозернистых пленок палладия с не изменяющейся в процессе роста микроструктурой и повысить их предельную толщину можно введением в раствор добавок моноэтаноламина и сульфосалициловой кислоты. Установлено, что добавка моноэтаноламина в раствор повышает его стабильность и скорость роста пленок.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/15893
Appears in Collections:2009. Свиридовские чтения. Выпуск 5

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
pages from svirid_chteniya[2].pdf1,82 MBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.