Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/15893| Заглавие документа: | Химическое осаждение палладия из стабилизированных растворов на диэлектрические и полупроводниковые подложки |
| Авторы: | Рева, Ольга Владимировна Воробьева, Татьяна Николаевна |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
| Дата публикации: | 2009 |
| Издатель: | БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Свиридовские чтения: сб.ст. Вып.5/отв. ред. Т.Н.Воробьева |
| Серия/Номер: | 5 |
| Аннотация: | Усовершенствован процесс химического осаждения пленок палладия из: аммиачно-гипофосфитного раствора на подложки, различающиеся химической природой и морфологией поверхности — оксид алюминия, силикатное стекло, монокристаллический кремний. Впервые показана возможность получения пленок палладия толщиной 2,5—5,0 мкм на трудно металлизируемых неметаллических подложках с гладкой поверхностью. Определена важнейшая причина ослабления адгезионного взаимодействия пленок с подложкой в процессе осаждения, связанная с постепенным увеличением размеров зерен палладия в резуль тате их срастания. Найдено, что обеспечить получение мелкозернистых пленок палладия с не изменяющейся в процессе роста микроструктурой и повысить их предельную толщину можно введением в раствор добавок моноэтаноламина и сульфосалициловой кислоты. Установлено, что добавка моноэтаноламина в раствор повышает его стабильность и скорость роста пленок. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/15893 |
| Располагается в коллекциях: | 2009. Свиридовские чтения. Выпуск 5 |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| pages from svirid_chteniya[2].pdf | 1,82 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.