Logo BSU

Поиск


Текущие фильтры:





Начать новый поиск
Добавить фильтры:

Используйте фильтры для уточнения результатов поиска.


Результаты 1-4 из 4.
  • назад
  • 1
  • далее
Найденные документы:
Предварительный просмотрДата выпускаЗаглавиеАвтор(ы)
2008Структура и фазовый состав тонких пленок SiGe сплавов, полученных методом газофазного осаждения при пониженном давленииЗайков, В. А.; Новиков, А. Г.; Наливайко, О. Ю.; Гайдук, П. И.; Борисевич, В. М.
2008Исследование влияния условии осаждения на структуру и морфологические свойства слоев поликристаллического кремния, легированного в процессе роста кислородомТурцевич, А. С.; Наливайко, О. Ю.; Гайдук, П. И.; Лепешкевич, Г. В.
2008Использование вертикальных реакторов пониженного давления для осавдения пленок поликристаллического кремния, нитрида кремния и оксида кремнияНаливайко, О. Ю.; Сухан, В. В.; Плебанович, В. И.; Каленик, В. И.
2008Структурные и электрофизические свойства тонких Si(1-x)Ge(x) пленок после имплантации В+ и последующего отжигаГайдук, П. И.; Гринько, С. Н.; Зайков, В. А.; Новиков, А. Г.; Наливайко, О. Ю.; Пшеничный, Е. Н.