Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/152024| Title: | Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа |
| Authors: | Федотов, А. К. Жуковский, П. В. Федотова, Ю. А. Колтунович, Т. Максименко, А. А. Ларькин, А. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | Feb-2014 |
| Publisher: | ГКНТ РБ. Национальный центр интеллектуальной собственности |
| Citation: | Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа: Патент на изобретение / Федотов А.К., Жуковский П.В., Федотова Ю.А., Колтунович Т., Максименко А.А., Ларькин А.В. - Официальный бюллетень. - 2014. - № 1. - C. 101 |
| Abstract: | Способ получения тонкой пленки с импедансом индуктивного типа, заключающийся в испарении мишени из металла и диэлектрика с последующим осаждением на подложку. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/152024 |
| Appears in Collections: | Архив статей |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа.PDF | 2,04 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.