Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/152024Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Федотов, А. К. | - |
| dc.contributor.author | Жуковский, П. В. | - |
| dc.contributor.author | Федотова, Ю. А. | - |
| dc.contributor.author | Колтунович, Т. | - |
| dc.contributor.author | Максименко, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Ларькин, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-06-15T11:03:09Z | - |
| dc.date.available | 2016-06-15T11:03:09Z | - |
| dc.date.issued | 2014-02 | - |
| dc.identifier.citation | Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа: Патент на изобретение / Федотов А.К., Жуковский П.В., Федотова Ю.А., Колтунович Т., Максименко А.А., Ларькин А.В. - Официальный бюллетень. - 2014. - № 1. - C. 101 | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/152024 | - |
| dc.description.abstract | Способ получения тонкой пленки с импедансом индуктивного типа, заключающийся в испарении мишени из металла и диэлектрика с последующим осаждением на подложку. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | ГКНТ РБ. Национальный центр интеллектуальной собственности | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа | ru |
| dc.type | article | ru |
| Appears in Collections: | Архив статей | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа.PDF | 2,04 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.