Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/152024| Заглавие документа: | Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа |
| Авторы: | Федотов, А. К. Жуковский, П. В. Федотова, Ю. А. Колтунович, Т. Максименко, А. А. Ларькин, А. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | фев-2014 |
| Издатель: | ГКНТ РБ. Национальный центр интеллектуальной собственности |
| Библиографическое описание источника: | Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа: Патент на изобретение / Федотов А.К., Жуковский П.В., Федотова Ю.А., Колтунович Т., Максименко А.А., Ларькин А.В. - Официальный бюллетень. - 2014. - № 1. - C. 101 |
| Аннотация: | Способ получения тонкой пленки с импедансом индуктивного типа, заключающийся в испарении мишени из металла и диэлектрика с последующим осаждением на подложку. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/152024 |
| Располагается в коллекциях: | Архив статей |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа.PDF | 2,04 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.