Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120309| Title: | ФОТОИНДУЦИРОВАННЫЕ ПРОЦЕССЫ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ СМЕШАННОГО ОКСИДА МОЛИБДЕНА-ВАНАДИЯ |
| Authors: | Садовская, Л. Ю. Свиридова, Т. В. Азарко, И. И. Оджаев, В. Б. Свиридов, Д. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2015 |
| Abstract: | Продемонстрирована возможность использования фотоиндуцированной полимеризации, протекающей в тонких пленках смешанного оксида молибдена-ванадия при УФ-облучении, в качестве основы нового фотолитографического процесса. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120309 |
| Appears in Collections: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Садовская-Азарко.pdf | 662,4 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.