Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120309| Заглавие документа: | ФОТОИНДУЦИРОВАННЫЕ ПРОЦЕССЫ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ СМЕШАННОГО ОКСИДА МОЛИБДЕНА-ВАНАДИЯ |
| Авторы: | Садовская, Л. Ю. Свиридова, Т. В. Азарко, И. И. Оджаев, В. Б. Свиридов, Д. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2015 |
| Аннотация: | Продемонстрирована возможность использования фотоиндуцированной полимеризации, протекающей в тонких пленках смешанного оксида молибдена-ванадия при УФ-облучении, в качестве основы нового фотолитографического процесса. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120309 |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Садовская-Азарко.pdf | 662,4 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.