Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120309Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Садовская, Л. Ю. | - |
| dc.contributor.author | Свиридова, Т. В. | - |
| dc.contributor.author | Азарко, И. И. | - |
| dc.contributor.author | Оджаев, В. Б. | - |
| dc.contributor.author | Свиридов, Д. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2015-10-09T07:58:55Z | - |
| dc.date.available | 2015-10-09T07:58:55Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120309 | - |
| dc.description.abstract | Продемонстрирована возможность использования фотоиндуцированной полимеризации, протекающей в тонких пленках смешанного оксида молибдена-ванадия при УФ-облучении, в качестве основы нового фотолитографического процесса. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | ФОТОИНДУЦИРОВАННЫЕ ПРОЦЕССЫ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ СМЕШАННОГО ОКСИДА МОЛИБДЕНА-ВАНАДИЯ | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Appears in Collections: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Садовская-Азарко.pdf | 662,4 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.