Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/120309
Title: ФОТОИНДУЦИРОВАННЫЕ ПРОЦЕССЫ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ СМЕШАННОГО ОКСИДА МОЛИБДЕНА-ВАНАДИЯ
Authors: Садовская, Л. Ю.
Свиридова, Т. В.
Азарко, И. И.
Оджаев, В. Б.
Свиридов, Д. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2015
Abstract: Продемонстрирована возможность использования фотоиндуцированной полимеризации, протекающей в тонких пленках смешанного оксида молибдена-ванадия при УФ-облучении, в качестве основы нового фотолитографического процесса.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/120309
Appears in Collections:2015. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Садовская-Азарко.pdf662,4 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.