Управляемое магнетронное осаждение пленок оксида индия олова ITO с оптимальными свойствами

Зайков, В. А.; Бурмаков, А. П.; Кулешов, В. Н.; Людчик, О. Р.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/107208

Title:	Управляемое магнетронное осаждение пленок оксида индия олова ITO с оптимальными свойствами
Authors:	Зайков, В. А. Бурмаков, А. П. Кулешов, В. Н. Людчик, О. Р.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2014
Publisher:	Издательский центр БГУ
Citation:	Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Abstract:	Основной задачей настоящей работы является определение оптимальных параметров осаждения, которые позволяют достичь высокой воспроизводимости химического состава пленок ITO, соответственно, их низкого удельного сопротивления и высокой степени прозрачности. Для осаждения пленок ITO использован планарный магнетрон постоянного тока. В работе использовалась мишень следующего состава: In 85 % Sn 15 %. Остаточное давление в разрядной камере распыления равнялось 1×10 3 Па. Показано, что оптическое управление расходом кислорода в процессах магнетронного распыления позволяет воспроизводимо получать пленки ITO в широком диапазоне их электрических и оптических характеристик. Проведенные исследования позволили выбрать оптимальные режимы формирования прозрачного электрода к приборным светоизлучающим структурам.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/107208
ISBN:	978-985-553-234-8
Sponsorship:	Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований
Appears in Collections:	2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
p.55-57.pdf		277,61 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar