Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/107208| Заглавие документа: | Управляемое магнетронное осаждение пленок оксида индия олова ITO с оптимальными свойствами |
| Авторы: | Зайков, В. А. Бурмаков, А. П. Кулешов, В. Н. Людчик, О. Р. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2014 |
| Издатель: | Издательский центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. |
| Аннотация: | Основной задачей настоящей работы является определение оптимальных параметров осаждения, которые позволяют достичь высокой воспроизводимости химического состава пленок ITO, соответственно, их низкого удельного сопротивления и высокой степени прозрачности. Для осаждения пленок ITO использован планарный магнетрон постоянного тока. В работе использовалась мишень следующего состава: In 85 % Sn 15 %. Остаточное давление в разрядной камере распыления равнялось 1×10 3 Па. Показано, что оптическое управление расходом кислорода в процессах магнетронного распыления позволяет воспроизводимо получать пленки ITO в широком диапазоне их электрических и оптических характеристик. Проведенные исследования позволили выбрать оптимальные режимы формирования прозрачного электрода к приборным светоизлучающим структурам. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/107208 |
| ISBN: | 978-985-553-234-8 |
| Финансовая поддержка: | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований |
| Располагается в коллекциях: | 2014. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| p.55-57.pdf | 277,61 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.