Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/10013| Title: | Остаточные дефекты в кремнии, имплантированном ионами бора и фосфора |
| Authors: | Комаров, Ф. Ф. Джадан, М. Гайдук, П. И. Челядинский, А. Р. Явид, В. Ю. Жуковский, П. В. Партыка, Я. Венгерек, П. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2004 |
| Publisher: | Физика и химия обработки материалов |
| Abstract: | Исследовано накопление радиационных дефектов в Si, имплантированном ионами B+ и P+, и образование остаточных нарушений (дислокационные петли,стержневые дефекты)при последующей термообработке. Наблюдаемые аномалии в образовании протяженных нарушений связываются с влиянием упругих напряжений в областях скоплений радиационных дефектов на процесс их кластеризации. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/10013 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| PhysChemObrabMat-2004.pdf | 289,79 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.