Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/10013Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Комаров, Ф. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Джадан, М. | - |
| dc.contributor.author | Гайдук, П. И. | - |
| dc.contributor.author | Челядинский, А. Р. | - |
| dc.contributor.author | Явид, В. Ю. | - |
| dc.contributor.author | Жуковский, П. В. | - |
| dc.contributor.author | Партыка, Я. | - |
| dc.contributor.author | Венгерек, П. | - |
| dc.date.accessioned | 2012-05-25T08:01:26Z | - |
| dc.date.available | 2012-05-25T08:01:26Z | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/10013 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано накопление радиационных дефектов в Si, имплантированном ионами B+ и P+, и образование остаточных нарушений (дислокационные петли,стержневые дефекты)при последующей термообработке. Наблюдаемые аномалии в образовании протяженных нарушений связываются с влиянием упругих напряжений в областях скоплений радиационных дефектов на процесс их кластеризации. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Физика и химия обработки материалов | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Остаточные дефекты в кремнии, имплантированном ионами бора и фосфора | ru |
| Располагается в коллекциях: | Статьи | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| PhysChemObrabMat-2004.pdf | 289,79 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.