Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/10013| Заглавие документа: | Остаточные дефекты в кремнии, имплантированном ионами бора и фосфора |
| Авторы: | Комаров, Ф. Ф. Джадан, М. Гайдук, П. И. Челядинский, А. Р. Явид, В. Ю. Жуковский, П. В. Партыка, Я. Венгерек, П. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2004 |
| Издатель: | Физика и химия обработки материалов |
| Аннотация: | Исследовано накопление радиационных дефектов в Si, имплантированном ионами B+ и P+, и образование остаточных нарушений (дислокационные петли,стержневые дефекты)при последующей термообработке. Наблюдаемые аномалии в образовании протяженных нарушений связываются с влиянием упругих напряжений в областях скоплений радиационных дефектов на процесс их кластеризации. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/10013 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| PhysChemObrabMat-2004.pdf | 289,79 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.