Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/10013
Заглавие документа: Остаточные дефекты в кремнии, имплантированном ионами бора и фосфора
Авторы: Комаров, Ф. Ф.
Джадан, М.
Гайдук, П. И.
Челядинский, А. Р.
Явид, В. Ю.
Жуковский, П. В.
Партыка, Я.
Венгерек, П.
Тема: радиофизика и электроника
Дата публикации: 2004
Издатель: Физика и химия обработки материалов
Аннотация: Исследовано накопление радиационных дефектов в Si, имплантированном ионами B+ и P+, и образование остаточных нарушений (дислокационные петли,стержневые дефекты)при последующей термообработке. Наблюдаемые аномалии в образовании протяженных нарушений связываются с влиянием упругих напряжений в областях скоплений радиационных дефектов на процесс их кластеризации.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/10013
Располагается в коллекциях:Статьи факультета радиофизики и компьютерных технологий

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
PhysChemObrabMat-2004.pdf289,79 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.