Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/10013
Title: Остаточные дефекты в кремнии, имплантированном ионами бора и фосфора
Authors: Комаров, Ф. Ф.
Джадан, М.
Гайдук, П. И.
Челядинский, А. Р.
Явид, В. Ю.
Жуковский, П. В.
Партыка, Я.
Венгерек, П.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2004
Publisher: Физика и химия обработки материалов
Abstract: Исследовано накопление радиационных дефектов в Si, имплантированном ионами B+ и P+, и образование остаточных нарушений (дислокационные петли,стержневые дефекты)при последующей термообработке. Наблюдаемые аномалии в образовании протяженных нарушений связываются с влиянием упругих напряжений в областях скоплений радиационных дефектов на процесс их кластеризации.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/10013
Appears in Collections:Статьи факультета радиофизики и компьютерных технологий

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
PhysChemObrabMat-2004.pdf289,79 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.